當穿著無塵服的作員小心翼翼地開啟蝕刻腔,準備取出晶圓進行下一步作時,他旁,負責線上瑕疵掃描的工程師眼睛死死盯著面前的電子顯微放大屏,臉變得越來越難看。
“嘶……”
一聲倒冷氣的聲音在作員防護服部響起。
“怎麼了?”
蘇定平不知何時已經站在了監控室外,隔著巨大的觀察窗玻璃,敏銳地察覺到了氣氛不對。
袁濤快步走了出來,臉鐵青中帶著濃濃的疲憊和……憤怒!
他手裡拿著一份新鮮出爐、還帶著機溫度的質量檢測報告,手指得紙張都變了形。
“蘇總師……”
袁濤的聲音帶著一種無法抑制的音,一種被赤欺騙後的憤怒。
“良品率……最新的批次……只有……只有百分之十九點八!”
他幾乎是咬著牙說出這個數字。
19。8!連20%都不到!
要知道,即便是業界技相對的8英寸線上生產250nm工藝晶片,良品率通常也有達到60%-70%!
他們依靠原有的“龍脊”技積累,加上龍心實驗室突破的工藝整合最佳化,最初幾批小規模流片,良品率也到了43%的坎!大家加班加點改進,指著衝到60%,結果呢?!
這數字竟像斷了線的風箏一般,直墜深淵,跌破了20%的底線!
這對量產計劃是毀滅的打擊!意味著生產本劇增,付時間無限期拖延!
“原因!”
蘇定平的聲音冰冷得像西伯利亞的冰川。
“初步判定……是……矽片基材的問題!”
袁濤猛地將報告拍在旁邊的控制檯上。
“蘇定平!我們被耍了!雄鷹給的那批12英寸珍稀矽片,全他媽是回收翻新的工業垃圾!甚至是實驗室報廢品熔了重拉出來的次等貨!”
他的聲音帶著技工作者被專業和智慧的極致憤怒!
他指著旁邊一個開啟的、裝著所謂“高階貨”的特製矽片盒。
“你看這邊緣澤!正常超高純矽片在切割後經過極致打磨和清洗,邊緣應該呈現出一種深邃、近乎水晶鏡面的澤!但這批貨的邊緣打磨糙得像個新手乾的活!而且整澤偏黃!”
袁濤的聲音因為憤怒而拔高,充滿了切齒的恨意。
“這是矽片部氧化濃度過高的清晰證據!
他們摻了劣質的回收矽源!或者熱理氧化工藝本沒做到位!
這樣的矽片部充斥著非晶態區域、氧缺陷團簇、金屬雜質濃度超標!用它做晶圓基板,上面的原子級微觀晶結構都是歪的!不穩固的!
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