第197章 湧向CK的暗流
荷藍,埃因霍溫,阿斯嘜(AS研發實驗室。
空氣中瀰漫著一種近乎凝固的興,混合著儀的特殊冷卻氣味和咖啡的濃郁香氣。
巨大的潔淨室,一臺龐大而複雜的機,人類歷史上第一臺極紫外(EUV)刻機原型機,正靜靜地嘉立在中央,彷彿一頭蟄伏的金屬巨。
雖然它此刻的晶圓良品率低得可憐,僅有30%,源輸出功率也忽高忽低,穩定堪憂,遠未達到商用標準,但這並不妨礙圍繞它的研發人員們臉上洋溢著巨大的就和狂喜。
突破了!
他們真的突破了理的極限,為爾定律的延續鑿開了一道新的曙!
與已經十分。但已近理極限的深紫外(DUV)刻機相比,這臺EUV是通向7n至更先進位程的全新道路。
實驗室的門開,阿斯嘜總裁皮特。溫尼克面帶笑容地走了進來,立刻被熱烈的掌聲和歡呼包圍。
他熱地與每一位核心工程師握手,聲音洪亮而充滿染力。
「士們,先生們!
今天,你們創造了歷史!
這臺機,不僅僅是一臺刻機,它是人類智慧對抗理法則的又一次偉大勝利!
它證明了我們阿斯嘜走在正確的道路上,證明了全球協作的力量!
EUV的時代,將由我們一同開啟!」
狂歡的氣氛被推向了高。
香檳酒塞「膨」地開啟,泡沫四濺。
在一片歡騰中,溫尼克將EUV專案負責人,來自臺機電的技大拿閆濤南到了一旁相對安靜的角落。
溫尼克臉上的笑容稍稍收斂,他需要了解更現實的況。
「閆,幹得漂亮!
但現在,我需要知道最真實的資料。
如果。。。我是說如果,我們的關鍵子系統被迫啟用備用供應商,對良率的影響有多大?」
閆濤南推了推眼鏡,技人的嚴謹讓他迅速進狀態,語氣清晰而準確。
「溫尼克先生,況如下:
源系統:
目前我們使用北Cyr的LPP(雷等離子)源,能量轉換效率達到5。5%。
如果換用備用供應商得國TRUF的30kW二氧化碳雷,其轉換效率為3。42%,且穩定稍遜。
模擬結果顯示,這會導致整良品率下降約5%。
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