第二次、第三次、第四次……
實驗一次次重啟。
有時是膠太厚,烘乾後裂起皮;
有時是配比失衡,膠分層無法融合;
有時是過度,未曝區域也自變;
有時是聚合不足,膠塌,無法定型。
失敗,接連不斷的失敗。
一次、十次、三十次、五十次……
桌面堆滿了麻麻的實驗記錄紙,每一張紙上都寫滿配比資料、失敗原因、改良方向。
空氣裡縈繞著淡淡的樹脂清香與溶劑味道。
劉科學熬得雙眼微紅,看著上百次失敗記錄,忍不住低聲慨道:
“難怪高階刻膠被稱為化工壁壘。沒有無數次試驗資料的積累,本不到門檻。”
一百次試錯,一百次缺陷。
要麼附著力差,要麼解析度極低,要麼區間不匹配,完全達不到刻標準。
林金蓮卻依舊眼神清亮,不知疲倦。
經歷過無數次失敗後,膠終於不再整片落,曝區域功固化,未曝區域順利溶解。
第一次出現了清晰的明暗分割槽!
“有效果了!”劉科學神一振。
矽片之上,燈照過的地方膠堅亮,未照的地方被顯影乾淨洗。
雖然邊緣模糊、線條糙,解析度極低,完全達不到晶片奈米級標準,卻意味著——
他們索的刻膠,備了刻效能。
林金蓮盯著矽片上模糊的邊界,目銳利道:
“還是不行,邊緣鋸齒嚴重,解析度不夠,無法承載細微電路圖案。
只能做最的紋路,離晶片級還差太遠。”
說著,筆尖快速劃過記錄紙,敲定最終最佳化方向:
“溶劑再提純一級,劑二次濃,提高膠緻,降低固化誤差。”
深夜三更。
實驗室燈火依舊通明。
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