其他專家固然沒有辦法從專業的角度聽懂其中的難度,但是憑藉直覺就能明白這有多難了。
用一個擁有近乎無窮解空間的、典型的NP-hard問題,這些形容詞和最後的名詞,聽起來就覺得困難。
近乎無窮解,在數學知識大約等於數學系大一大二學生的工業專家們看來,和近乎無法求解沒有區別。
坐在魏哲邊上的專家,看他的臉也能看出端倪,看魏哲一副驚呆的樣子,就知道林燃又做了什麼驚天地的結果出來。
梁孟松舉手,林燃點了點頭:“梁工,你說。”
“林總,”梁孟松的語氣很沉重,“您從演算法層面為我們提供瞭解決方案,現在我們從理論上能做到。
但是在現實世界中要到,我們需要有度足夠高的模板,有了這樣的模板,我們才能用NIL刻機去印所謂的超構鏡,才能擁有傳統路線刻機所需的鏡頭。
我解釋一下,我們要製造的,是帶有5奈米級別結構的超構鏡母版模板。
而要製造這個母版,我們需要一臺電子束寫機。”
“這東西,就像一支筆。”梁孟松努力用最簡單的語言解釋,“刻機,像一臺巨大的印刷機,可以把模板上的圖案,一秒鐘影印幾十次。
而電子束寫機,就是那支用來製作印刷母版的、最原始的筆。
你的筆有多細,決定了你的母版有多細。
而我們,我們國產的、最先進的電子束寫機,能穩定刻畫的最小線寬,是65奈米。
用65奈米的筆,去雕刻5奈米的圖案,這是不可能的。”
多電子束寫機是一種用於高度圖案轉移的先進半導制造裝置,過使用多個電子束同時在晶圓上寫圖案。
梁孟松說的更常見一點的名詞掩版,過掩版在矽片上印上圖案,掩版的度決定了矽片上積電路的度。
用來製作掩版的機就多電子束寫機,它一次只能製作一塊掩版,適用於小批次、高複雜的圖案製造需求。
總結來說,沒有最先進的電子束寫機,就無法制造出用於生產最先進晶片的掩版。
它是整個半導制造產業鏈的“源頭”,其戰略重要,毫不亞於EUV刻機本。
全球最先進的、用於EUV級別的多電子束掩寫機,其市場被奧地利的IMSNanofabrication公司,現已被英特爾絕對控。
另一家霓虹公司NuFlareTechnology也在研發,但市場份額和技應用廣度上都有差距,這是東芝的子公司。
國的申海微電子旗下也有子公司在負責研發,但度是90nm到65nm之間。
無論是哪個技路線的刻機,都需要有掩版,在母版上面去印刷。
會議室裡,剛剛因數學突破而燃起的樂觀氣氛,瞬間被澆滅了。
大家都是業人士,很清楚梁孟松說的是事實。
沒有最頂尖的筆,再完的設計圖也只是一張廢紙。
林燃說:“這不是問題,我們雖然沒有最先進的筆,但是有次一級的筆。”
林燃看向臺下的楊德人說道:“楊院士,你來說說吧。”
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