還為報部門提供了大量幫助。
這顆曾經的“定時炸彈”,如今已了夏國最鋒利的“矛”與最堅固的“盾”之一。
兵工廠的會議持續了一上午,離開後,周博又來到了揚子江電子廠。
徐樹青和姜明尚一起接待了他。
幾人直接來到了晶片實驗室裡,周博問道:“最新的刻機怎麼樣了?”
姜明尚笑而不語,將周博帶到一個超淨玻璃隔間前。
過特製玻璃,可以看到一臺龐大的裝置正在執行。
銀灰的外殼上佈滿了的介面和指示燈。
著滿滿的高科技!
姜明尚語氣帶著興:“這就是最新的DUV浸潤式刻機DK-1,目前已進產線驗證階段,分辨度達到180奈米,套刻後度可達50奈米!”
“50奈米!”周博出喜。
這已經先進晶片的工藝度了!
姜明尚繼續介紹道:“看這裡,這是投影鏡系統,採用了自主研發的折反設計,數值孔徑達到了0.75。這是實現高解析度的關鍵。”
周博端詳著這臺龐然大:“源系統呢?”
“氬氟雷,輸出波長達到193奈米。”
姜明尚指向刻機後部的一個封單元,“這裡就是浸潤系統。
在一級鏡和矽片之間填充了高純度去離子水,利用水對的折效應,有效將解析度提升了35%以上。”
“穩定如何?”
“我們開發了全新的雙工作臺系統。”姜明尚解釋道,“一個工作臺在進行曝時,另一個工作臺已經在為下一片晶圓進行測量和對準。這樣將產能提升了近一倍,套刻度控制在3奈米以。”
周博滿意地點頭,看得出,姜明尚已經完全掌握了刻機的設計,完全可以獨當一面了。
有了DUV刻機,晶片的發展就進了快車道。
他笑了笑:“這一下,矽谷拍馬也趕不上我們了!”
姜明尚一笑:“他們連乾式刻機還沒折騰明白呢,浸潤式,他們最還需要二十年!”
“二十年,那我們EUV都要出來了!”
“EUV?那是什麼東西!”
“呃,這個比較複雜,有時間我們詳細聊!”
“好吧!”隨即,姜明尚又拿起一塊晶片,遞給周博。
這枚晶片在燈下泛著紫的澤,麻麻的引腳排列整齊,顯示出極高的製造工藝水平。
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