輝騰車駛深藍半導廠區時，機械轟鳴聲比上次來時更顯集。
只不過，發出聲音的位置卻是在另一棟生產樓。
在王世傑的安排下，施工隊已經在對另一棟生產樓進行改造。若是以後購買新的刻機，就可以直接進行安裝除錯了。
而已經安裝完刻機的那棟樓，部幾乎沒有聲音發出。
楚千瀾剛走進生產樓，就看到王世傑穿著藍防護服，從刻區潔淨室快步走出，臉上帶著掩不住的興。
“楚總！180n程的晶片產線全部安裝完畢，昨天已經完單機除錯，各項引數基本達到預期標準！”王世傑迎上來，遞過一份列印好的除錯報告。
楚千瀾接過除錯報告，目快速掃過關鍵資料欄：“刻膠塗覆均勻度98.5%，曝度誤差±0.018微米，蝕刻速率穩定97%……引數比預期還要好。”
他抬頭看向王世傑，語氣帶著幾分讚許：“你們除錯時遇到的最大問題是什麼？後續量產前還需要解決哪些患？”
王世傑了眉心，語氣帶著一慶幸：“最棘手的是離子注機的束流穩定，剛開始誤差超過3%，張北團隊連夜優化了磁場校準引數，才將誤差控制在1.2%以。
至於患，主要集中在潔淨室的溫溼度波上。刻區白天與夜間的溫差會導致工作臺輕微形變，雖然現在誤差在允許範圍，但長期量產可能影響良率，我們計劃加裝恆溫恆溼控制系統。”
楚千瀾跟著王世傑走進潔淨室走廊，過觀察窗，能看到幾名工程師正圍著刻機除錯引數，螢幕上跳的資料流在昏暗環境中格外醒目。
兩人沿著潔淨室走廊繼續前行，來到蝕刻區時，幾臺等離子蝕刻機正於待機狀態，機側面的顯示屏上跳著即時力和氣流量資料。
“蝕刻環節的引數除錯還算順利，”王世傑指著裝置，“我們用測試矽片做了十組實驗，線寬均勻度能穩定在±0.02微米，符合180n程要求。”
楚千瀾停下腳步，掃視了一下裝置，並沒有做出評價。
直到二人看完所有生產裝置，他才開口問道，“這條產線什麼時候聯機除錯？大約什麼時間能付使用？”
王世傑眼中閃過一期待：“聯機除錯計劃下週一啟，我們準備先用測試矽片跑三批完整流程，重點驗證各裝置間的資料互和工藝相容。
按目前進度，若聯機除錯順利，本月下旬就能完產線驗收，月底前可以開始試生產。”
楚千瀾目落回刻機方向：“雖然我們希儘快完除錯，但也要保證裝置的穩定！
試生產階段，先聚焦電源管理晶片，這是我們自己研發的產品，更能快速驗證產線穩定。另外，以後正式生產後，也會生產這種晶片。”
作為楚千瀾旗下，唯一可以正大明生產的晶片，他自然要將訂單放到自家公司。
王世傑重重點頭：“明白！電源管理晶片的工藝引數，我們已經和星源探索的陳文州團隊對接，試生產時會優先安排。
而且張北團隊還整理了裝置維護手冊，後續量產時，每個環節都會有專人負責巡檢，確保良品率穩定。”
兩人走出潔淨室，下防護服時，王世傑忽然想起什麼，補充道：“楚總，沈院士上週還聯絡過我，問我們產線除錯進度，說若是需要技支援，他可以協調中科院的專家過來指導。”
楚千瀾輕嘆一聲：“沈院士的好意心領了，現階段我們先自己磨合，真遇到解決不了的技瓶頸再麻煩他。”
兩人又在廠區轉了一圈，重點查看了新改造生產樓的施工進度。
鋼筋骨架已經搭建到第三層，幾名工人正站在腳手架上焊接，火花在下濺起細的點。
王世傑手拿圖紙，開口介紹，“這棟樓按Class 1潔淨室標準建造，專門預留了45n刻機的安裝空間。
預計10月底完主施改造，只要購買到裝置，就能投使用，到時候我們就能同時執行兩條晶片產線。”
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