次日清晨,楚千瀾驅車抵達深藍半導。
二號生產樓的45奈米刻裝置正有條不紊地運轉,淡紫的極紫外束在晶圓表面勾勒出細紋路,而隔壁的28奈米刻產線則被安保守住了出口,空氣中瀰漫著張而肅穆的氣息。
王世傑、張北早已等候在觀察窗前,臉上難掩興與忐忑。
看到楚千瀾走來,兩人立刻迎了上去。
“楚總,裝置已完最後校準,源功率穩定在±0.2%,工作臺定位度達±0.001微米,各項引數均優於設計標準。”張北遞上資料平板,聲音帶著抑制不住的抖。
楚千瀾目掃過螢幕上跳的即時資料,微微頷首:“開始流片吧,重點監測良率與穩定。”
王世傑抬手示意,技人員立即按下啟按鈕。28奈米刻裝置發出低沉的嗡鳴,傳送臂準抓取矽晶圓,緩緩送預理模組。
極紫外源投出比45奈米裝置更細的束,在晶圓表面刻畫出複雜的電路紋路,每一道線條都銳利如刀,誤差控制在奈米級。
觀察窗前,眾人屏息凝視。螢幕上的流片進度條緩慢推進,塗膠、曝、顯影、蝕刻等工序一氣呵。當第一片晶圓完流片,被送檢測裝置時,整個車間雀無聲。
“線寬均勻度誤差±0.002微米,符合設計標準!”檢測工程師高聲彙報,聲音打破了死寂,“關鍵電路無橋連、無鋸齒,刻質量完全達標!”
王世傑長舒一口氣,臉上出欣的笑容:“按這個進度,首批100片晶圓將在兩小時完生產,良率初步預估能穩定在92%以上。”
楚千瀾凝視著螢幕上平的引數曲線,眸中閃過一讚許:“92%的良率,超出預期。後續28納米制程的晶片,要轉移到這條新產線上生產。”
雖說45奈米刻機也能生產28奈米晶片,但過多重曝技生產晶片,需要增加多道工序,良率自然會降低。
王世傑眼中閃過熾熱的芒,重重點頭:“明白楚總!我們已經提前規劃了產能分配,28奈米產線滿負荷運轉時,月產能可達3萬片晶圓,完全能滿足繁星科技的需求。”
張北補充道:“這條產線的核心部件國產化率達到96%,只有極個別高度測來自海外,而且我們已經啟了國產替代研發,預計一年就能實現完全自主供應。”
楚千瀾微微頷首,目始終鎖定在螢幕上的流片資料:“不能鬆懈,但那些國外沒有售的元件也不用著急。
28奈米刻裝置是關鍵節點,海外巨頭完研發的時間也不長。我們的功,代表著深藍半導徹底躋於國際先進行列。下一步,就是研發出20奈米的刻機,徹底穎而出。”
楚千瀾的話音落下,車間的技人員們眼中皆燃起熾熱的芒。
從45奈米到28奈米,深藍半導用短短一年時間完了國際巨頭數年才能走完的迭代之路,這份速度與實力,足以讓每一個參與者自豪。
張北攥著資料平板的指尖微微泛白,眼中燃起更盛的鬥志:“楚總放心!我們正在定製20奈米刻裝置的研發方案。過媧系統的推演,已經有了研發方向。”
楚千瀾微微頷首,目掃過車間忙碌的技團隊。
28奈米產線的機械臂正按預設程式準運轉,淡紫的極紫外束如同準的手刀,在晶圓表面刻畫出細的電路紋路。
每一片完流片的晶圓都被小心翼翼地送檢測裝置,螢幕上的良率曲線平穩上揚。
兩小時後,首批100片28奈米晶圓全部完流片。
王世傑重新整理資料平板,聲音帶著抑制不住的振:“楚總,最終良率穩定在93.7%,連續100片無任何裝置故障,穩定完全達標!而且線寬誤差控制在±0.0018微米,比設計標準提升了10%。”
楚千瀾接過資料平板,眸沉靜卻難掩鋒芒。
現在就達到了93.7%的良率,等以後各種條件再一些,良率還能在提升幾點。
“很好。”他抬眼看向王世傑與張北,語氣帶著明確的指令,“良率達標只是起點,接下來還要測試裝置的其他效能。
”。置裝刻試測便順,分部一產量就,後題問有沒片晶認確等,技科星繁與索探源星到送片晶來出產生將們你
”。試測轉運續連置裝啟步同,技科星繁與索探源星往送本樣片晶米奈82批首將,流排安就這我!白明“:道應頭點傑世王
……
。休退接直後限到齡年,後年兩在會該應方對,勢局個這照按。心中利權出退底徹是算,員研調級部副任,室科散閒個一部信工調博宏江,息訊切確到收瀾千楚,後天幾
。頻頻作直一邊那廠鵝但,了子蛾么出再會不該應邊這博宏江
。品產下旗技科海星擊攻由理種各找尋舊依,棄放此就有沒並軍水廠鵝但,去過經已然雖事的斷壟統系理管咖網技科海星
。額爛頭焦廠鵝讓也,去出了散被都息訊面負廠鵝的到找前以,著閒有沒也部關公的技科海星,然當
。統系理管咖網下旗廣推邊一,論輿的造製技科海星對應邊一正,廠鵝的時此而
。了上盯就早們他,場市的出推技科海星
。倍一了翻整整,%01了到升提%5從就額份場市的統系理管咖網廠鵝,間時的週一短短
。料意乎出是才那,趣興不場市的來出空對是若廠鵝。中之料預在早這竟畢,意在過太有沒也,況這到看瀾千楚
”!宜事市上司公討商您與希,件函封一的券證投中到收天今,總楚“:前面瀾千楚到遞件函份一將,而門推子葉蘇
!了上司公己自到打意主將人有又然竟,倆孫爺博宏江下剛,到想沒他,寒一過閃中眸,言聞瀾千楚
”?麼景背麼什是人函發道知“








