《憑藉外星科技,建立星海王朝》第477章 新光刻機 上市?(1)

作者:打工人在春城·5個月前

次日清晨,楚千瀾驅車抵達深藍半導

二號生產樓的45奈米刻裝置正有條不紊地運轉,淡紫的極紫外束在晶圓表面勾勒出細紋路,而隔壁的28奈米刻產線則被安保守住了出口,空氣中瀰漫著張而肅穆的氣息。

王世傑、張北早已等候在觀察窗前,臉上難掩興與忐忑。

看到楚千瀾走來,兩人立刻迎了上去。

“楚總,裝置已完最後校準,源功率穩定在±0.2%,工作臺定位度達±0.001微米,各項引數均優於設計標準。”張北遞上資料平板,聲音帶著抑制不住的抖。

楚千瀾目掃過螢幕上跳的即時資料,微微頷首:“開始流片吧,重點監測良率與穩定。”

王世傑抬手示意,技人員立即按下啟按鈕。28奈米刻裝置發出低沉的嗡鳴,傳送臂準抓取矽晶圓,緩緩送理模組。

極紫外源投出比45奈米裝置更細束,在晶圓表面刻畫出複雜的電路紋路,每一道線條都銳利如刀,誤差控制在奈米級。

觀察窗前,眾人屏息凝視。螢幕上的流片進度條緩慢推進,塗膠、曝、顯影、蝕刻等工序一氣呵。當第一片晶圓完流片,被送檢測裝置時,整個車間雀無聲。

“線寬均勻度誤差±0.002微米,符合設計標準!”檢測工程師高聲彙報,聲音打破了死寂,“關鍵電路無橋連、無鋸齒,刻質量完全達標!”

王世傑長舒一口氣,臉上出欣的笑容:“按這個進度,首批100片晶圓將在兩小時生產,良率初步預估能穩定在92%以上。”

楚千瀾凝視著螢幕上平的引數曲線,眸中閃過一讚許:“92%的良率,超出預期。後續28納米制程的晶片,要轉移到這條新產線上生產。”

雖說45奈米刻機也能生產28奈米晶片,但過多重曝生產晶片,需要增加多道工序,良率自然會降低。

王世傑眼中閃過熾熱的芒,重重點頭:“明白楚總!我們已經提前規劃了產能分配,28奈米產線滿負荷運轉時,月產能可達3萬片晶圓,完全能滿足繁星科技的需求。”

張北補充道:“這條產線的核心部件國產化率達到96%,只有極個別高來自海外,而且我們已經啟了國產替代研發,預計一年就能實現完全自主供應。”

楚千瀾微微頷首,目始終鎖定在螢幕上的流片資料:“不能鬆懈,但那些國外沒有售的元件也不用著急。

28奈米刻裝置是關鍵節點,海外巨頭完研發的時間也不長。我們的功,代表著深藍半導徹底躋於國際先進行列。下一步,就是研發出20奈米的刻機,徹底穎而出。”

楚千瀾的話音落下,車間的技人員們眼中皆燃起熾熱的芒。

從45奈米到28奈米,深藍半導用短短一年時間完了國際巨頭數年才能走完的迭代之路,這份速度與實力,足以讓每一個參與者自豪。

張北攥著資料平板的指尖微微泛白,眼中燃起更盛的鬥志:“楚總放心!我們正在定製20奈米刻裝置的研發方案。媧系統的推演,已經有了研發方向。”

楚千瀾微微頷首,目掃過車間忙碌的技團隊。

28奈米產線的機械臂正按預設程式準運轉,淡紫的極紫外束如同準的手刀,在晶圓表面刻畫出細的電路紋路。

每一片完流片的晶圓都被小心翼翼地送檢測裝置,螢幕上的良率曲線平穩上揚。

兩小時後,首批100片28奈米晶圓全部完流片。

王世傑重新整理資料平板,聲音帶著抑制不住的振:“楚總,最終良率穩定在93.7%,連續100片無任何裝置故障,穩定完全達標!而且線寬誤差控制在±0.0018微米,比設計標準提升了10%。”

楚千瀾接過資料平板,眸沉靜卻難掩鋒芒。

現在就達到了93.7%的良率,等以後各種條件再一些,良率還能在提升幾點。

“很好。”他抬眼看向王世傑與張北,語氣帶著明確的指令,“良率達標只是起點,接下來還要測試裝置的其他效能。

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