第1038章
“EUV極紫外技麼......”
聽到這個無比悉的名詞,楚揚神微微有些複雜,勾起了上一世的一些回憶。
現在這個時候市場上主流的刻機裝置大多是採用了DUV深紫外技,這種技目前已經十分,但限於深紫外的波長尺寸原因,所以DUV技的極限僅可以生產出20奈米以上的晶片。
而在兩年前,風車國的斯麥爾公司卻是率先攻克了更為先進的EUV極紫外技!
其新技所採用的極紫外在波長尺寸方面備極大的優勢,遠遠小於之前深紫外的波長尺寸,所以完全可以生產出尺寸更小的半導晶片!
這個訊息一經發出,對於全球刻機裝置市場,直接帶來了十分巨大的衝擊!
也正是這項技的突破,讓米國控制的斯麥爾公司在整個全球刻機領域壟斷了足足十幾年!
直到十幾年之後,楚揚重生之前,EUV刻機技領域才出現了一些突破......
楚揚記得很清楚,當初華夏國的華芯國際公司曾經在2018年向斯麥爾公司下訂過一臺採用EUV極紫外技的刻機產品,但是因為米國方面的干預,這款裝置最終沒能付。
這也導致華夏的半導產業一直沒能真正發展起來......
諸般思緒在腦海中一閃而過,楚揚終於回過神來,緩緩吐出一口氣,看向神明顯有些黯然的教授,
“奧德蒙教授,其實EUV技的研發方向,並非一定要使用極紫外線作為源......”
“可是這麼多年來,經過無數次實驗,只有紫外線最適合對晶圓片進行有效曝。”
“而在眾多型別的紫外線之中,也只有極紫外線的波長能夠達到20奈米以......”
穿著白大褂的教授無奈地搖了搖頭,這個基礎問題們又怎麼會沒有想過。
但無數實驗案例證明,目前能夠適用於刻機應用的只有紫外線而已,甚至極紫外線由於波長過短,所以形態極易不穩定,在進行曝時容易出現問題。
“那你有沒有考慮過使用X線作為刻機源?”
“X線?”
慾系教授微微一怔,然後直接毫不猶豫地搖了搖頭,
“X線的波長確實極短,甚至能夠達到0.01奈米到10奈米,這已經遠遠小於極紫外的最小波長。但是由於X線的頻率極高且穿極強,在進行曝時能夠瞬間擊穿晶圓片,所以本不可能用來作為刻機的源使用......”
X線是一種頻率極高,波長極短、能量很大的電磁波,其頻率和能量僅次於伽瑪線,因為穿很強的緣故,之前甚至沒有人考慮過可以將其作為刻機源。
楚揚卻是微微一笑:
“如果說,可以在晶圓片和刻膠之間置一層可以阻擋X線穿的特殊塗層呢?”
“塗層?”
慾系教授軀微微一,然後一雙漂亮的藍眸子瞬間瞪得渾圓,死死盯著一臉淡然笑意的楚揚,彷彿是聽到了什麼十分不可思議的事一般!
“沒錯,而且這種塗層的材料我也知道,奧德蒙教授稍後可以去測試一下效果如何......”
楚揚點了點頭,然後走到這位一臉震撼的教授前,低聲音說出了一個名詞,又將方案大概描述了一遍。
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